愛德華干式泵維修

　　iH1800愛德華干式泵維修參數：
 

　　iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
 

　　A59040946
 

　　技術數據
 

　　峰值速度                 1800 m3h-1
 

　　1060 cfm
 

　　30000 l min-1
 

　　極限真空                 1 x 10-3 mbar
 

　　7.5 x 10-4 Torr
 

　　0.1 Pa
 

　　典型軸封氮流量                 4 slm
 

　　進氣口連接                 ISO160
 

　　出口連接                 NW40
 

　　15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
 

　　4 l min-1
 

　　重量                         502 kg
 

　　極限功率輸入                 4.1 kW
 

　　電機額定功率                 7.0 kW
 

　　油容量                         1.6 l
 

　　Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
 

　　iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
 

　　iH1800愛德華干式泵維修應用：

 

　　負載鎖
 

　　輸送
 

　　計量
 

　　平版印刷
 

　　PVD 制程
 

　　PVD 預清潔
 

　　RTA
 

　　剝離/灰化
 

　　刻蝕
 

　　植入源
 

　　HDP CVD
 

　　RTP
 

　　SACVD
 

　　MCVD
 

　　PECVD
 

　　LPCVD
 

　　ALD
 

　　東莞市上善真空設備有限公司專業維修愛德華干泵，愛德華半導體干泵，萊寶干泵，愛發科干泵，漢鐘干泵，卡西雅瑪干泵等干泵維修


 

　　東莞市上善真空設備有限公司集生產銷售、安裝設計、維修保養真空設備、真空氦檢漏儀及通用機械設備、精密機械及自動化設備等產品的企業。公司主要銷售及維修真空泵品牌有：上善系列單雙級真空泵、上善螺桿及羅茨真空泵、德國LEYB0LD萊寶真空泵、德國BUSCH普旭真空泵、德國RIETSCHLE里其樂真空泵、德國BECKER貝克真空泵、英國EDWARDS愛德華真空泵、日本ULVAC愛發科真空泵、德PFEIFFER普發真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿特拉斯真空泵、美國AGILENT安捷倫真空泵等進口真空泵及真空系統。銷售真空泵配件：真空泵油、油霧分離器、排氣過濾器、葉片、碳精片、油過濾器、進氣濾芯、空氣總成、散熱風扇、風扇葉、風扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮閥、視油鏡、密封套件、聯軸器、聯軸器墊等配件材。 同時公司還經營電子材料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等。